装置名	蛍光X線分析装置 XRF (X-Ray Fluorescence)
機種名	RIGAKU製　走査型蛍光X線分析装置　（ZSX-Primus II）
原理	試料にX線を照射すると、内殻電子が励起されて殻外に放出され、代わりに外殻から電子が移動します｡その際、電子の移動に伴うエネルギー差に対応して特性X線が発生します。このX線は二次X線または蛍光X線と呼ばれ、元素固有の値を示しています。発生したX線の波長を解析することによって、元素の種類が分かるとともに、X線強度を基に元素の定量を行うことができます。
特徴	上面照射タイプの走査型蛍光X線装置 最小分析径：f0.5mm 超軽元素であるホウ素の分析が可能 CCDカメラにより画像上で分析位置の指定やマッピング測定が可能
用途	試料組成の定量分析 試料中に含まれる不純物の定性・定量 試料中に含まれる不純物の存在位置の解析
運用	測定は講習を受けて認定された者による自己操作によります。 測定を行うときは日時を機器室ホームページから予約しなければなりません。 利用時には使用記録を記入します。